北京同林科技臭氧發(fā)生系統(tǒng)用于為 ALD 反應(yīng)系統(tǒng)提供穩(wěn)定、高濃度 O? 氣源。具體配置如下：

一、配置要求

1. 主機(jī)：空氣冷卻式臭氧發(fā)生器，用于為 ALD 反應(yīng)系統(tǒng)提供穩(wěn)定、高濃度 O? 氣源，由以下部件組成：

  1.1??臭氧發(fā)生單元：微流控放電結(jié)構(gòu)，不需外接冷卻水，支持連續(xù) 24?h 穩(wěn)定運(yùn)行。

  1.2?★?供氣接口：O??進(jìn)氣和 O??出氣均為??″?SS316 卡套接口，兼容 ALD 管路。

  1.3??工作壓力調(diào)節(jié)：內(nèi)置穩(wěn)壓模塊，支持 15-25PSIG（可通過外置減壓閥現(xiàn)場調(diào)節(jié)進(jìn)氣壓力和恒壓控制）。

  1.4? ▲機(jī)箱與防漏：整機(jī)不銹鋼密封，耐壓 ≥?150?PSIG，防腐蝕。

  1.5?★?控制系統(tǒng)：有內(nèi)置或外置顯示屏，實(shí)時(shí)顯示功率、溫度、進(jìn)出口壓力、報(bào)警信息等；

  1.6??電源：單相?220V，50/60?Hz；最大功耗?≤?200?W。

2. 安裝需求：

  2.1 ▲臺(tái)式或壁掛結(jié)構(gòu)，尺寸 ≤?200?mm?(W)?×?200?mm?(H)?×?400?mm?(D)；重量 ≤?10kg，便于近源布置。

3. 安全與診斷：

  3.1★配套有臭氧濃度測試器和臭氧破壞器用于在線監(jiān)測以及安全尾氣處理，測試器需具有數(shù)據(jù)存儲(chǔ)功能以備后期查驗(yàn)

  3.2★具備過壓、欠壓、過溫、冷卻風(fēng)扇異常、放電室進(jìn)水等多重自檢與聯(lián)鎖保護(hù)功能，異常自動(dòng)停機(jī)并彈出報(bào)警界面。

二、技術(shù)性能要求

1. ★臭氧產(chǎn)量：≤15?g/h（O?）

2. ★ 最高臭氧濃度：≥?10?%?(wt/wt)

3. O? 進(jìn)氣流量：0.1–1?SLPM 可調(diào)

4. O?/氧混合氣出口流量 ≥ 0.1 ?SLPM 可調(diào)

5. 啟動(dòng)時(shí)間：≤?2?min 達(dá)到穩(wěn)定輸出

6. 穩(wěn)定性：8?h 連續(xù)運(yùn)行濃度波動(dòng) ≤?±2?%

7. ▲噪聲等級 ≤?55?dB?(A) @1?m

8. 冷卻方式： 空氣冷卻，環(huán)境溫度 15–35?℃

9. 機(jī)箱防護(hù)等級： IP?54 或更高