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半導體企業(yè)定制高濃度臭氧發(fā)生檢測系統(tǒng)

來源：www.xsl520.com 發(fā)布時間：2025-05-23 17:14:57 瀏覽次數(shù)：
單位名稱：半導體企業(yè)
實驗內(nèi)容：ALD
臭氧機型：3S-B20

半導體企業(yè)定制高濃度臭氧發(fā)生檢測系統(tǒng)

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 3S-B20臭氧輸送系統(tǒng)，配置Apex H30 高濃度臭氧發(fā)生器，雙光路紫外臭氧在線檢測儀，質(zhì)量流量計，泄露報警器等，獨特的風冷設計，體積小、濃度高、穩(wěn)定性好，是半導體ALD PLD CVD ALE MBE 等應用的不二選擇。


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